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软件功能
1、图像采集和处理:该软件可以进行高速、高分辨率的图像采集,并提供图像处理算法,用于去噪、增强和图像校正等操作,以获得清晰、准确的图像数据。
2、缺陷检测和分类:软件能够自动检测晶圆表面的各种类型缺陷,如粒子、裂纹、凹坑等,并根据缺陷的特征进行分类和标记。
3、缺陷统计和分析:软件可以对检测到的缺陷进行统计和分析,生成缺陷数量、分布、趋势等报告和图表。
4、缺陷定位和追踪:软件能够提供缺陷的准确位置信息,帮助操作员快速定位缺陷区域,并进行必要的修复或处理。
5、数据管理和集成:软件支持对缺陷数据的存储、管理和查询,可以将检测结果导出到数据库或其他文件格式中,方便后续的数据分析和共享。
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